ACM 리서치, Ultra Furnace 신제품 출시와 함께 건식 공정 시장 진출

LPCVD용 제품으로 첫발… 향후 산화 공정, 어닐링, ALD용 제품으로 확장 계획
한·중 연구개발팀 협업 효과 입증

2020년05월14일
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